r*.eleri: Viton veya OFHC bakrrdan imal edilmi5 olmalrdtr

RT'-SPUT"TER iNCE
1- Ana
FiLM SISTEMi TEKNiK SARTNAME
Sistem Genel Ozellikleri:
Magnetron saQtrrma sistemi aqalrdaki <izelliklere sahip olmahdlr:
a) Ara$trma ve geli$tirme illemlerine uygun olmahdlr
b) ince veya ultra ince (l nm den 1000 nm ye kadar) metal ve
c)
d)
e)
0
dielektrik filmlerin
deposition una uygun olmaltdrr.
Filmler magnetron saQtrma metodu ile DC, RF ve pulse giicii modlarrnt igine alan
birkaq modda depozit edilmelidir. Sistemde en az 3 tane magnetron-sagtlrma kaynagl
ve magnetron tabancalarl iQin bir tane uygun giiQ kaynagr bulunmaldrr'
Filmler saf a.gon ve reaktif gaz karrgrml (oksijen ihtiva eden atgon) atmosferlerde
deposite edilmelidir.
Sistem; dmekler load-lock odacrlr ve transfer kolu kullanrlarak ana odacrEa veya ana
odaclLtan rahathkla tagrnabilmelidir
Altta$ deposition strastnda ddnebilmelidir. Alttaglar filmlerin deposition u sltaslnda
iQin
rsrtrlalilmeli ve t00.C' nin tistfndeki srcaklrklara srcakhgrn yiikselmesini atnlemek
su sogutmall olmahdrr.
Depoiition sistemi dzel otomasyon ve kontrol imkanl kullanllaiak.tamamen bilgisayar
kontrollu olmahdlt. Kaplama operatdr ile yaptlan reQeteler ile yapllabilmelidir'
Vekum Odacrlr Genel Ozellikleri:
g;
2-
a) En fazla 24 saat pompalamadan
sonra ulagtlacak en
diiiiik vakum seviyesi 3xl0-8ton
olmahdrr.
Base Pressu.e (BP) 2x10-7 ton' dan diiqiik olmahdrr
inme soresi en fazla 30
c) l-oad Lock odaqEtndan yiiklenmesi durumunda BP seviyesine
dk. olmahdrt
d) Sistemdeki kaqak seviyesi 3x10r torr/s' den kiiQiik olmahdrr'
Load Lock
80 litre hacme sahip olmall ve numune ytikleme dnden ve
lnu oa"",t,
"n
igin sadece 6n kapak
krsmrndan yaprlabilmelidir' DiBer bakrm vb tiidi illemler
kullantlmaltdtr.
D,,
-
"j
2.1- Vskum
Odtc*rndr Kull|n rcek Maltrmeler:
a) Gdvde:
yiizey' elektroSAE 104 (DIN 14301) paslanmaz Qeliklen olmahdtr ve
oarlatrlmr5 olmalldlr
yaprlmrs olmaltdrr
b) Yal rm Malzemeleri. Teflon veva aluminadan
Cam: Soda-kireg veya kuvarstan yaptlmll olmahdlr'
gelikten imal edilmis olmahdrr'.
d) it"ttent"., sok,i, Naolibden veya paslanmaz
,t v"r*.eleri: Viton veya OFHC bakrrdan imal edilmi5 olmalrdtr
e)
TIG (Tungsten Inert Gas) olmaltdtr'
0 U."ti.C" t -rtt"nrt""ut kaynak y<intemi:
CF pencereye
i"ii,r.".a""tgt iqi" pencere <izellikleri: Ana odacrk I adet 6' gaptnda
rqrpr gegirmeli' IJV v€ X-r nlannl
sahip olmaltdrr. Bu pencere' saoece goriiniir
$ekilde
iloklayabilmelidir. Girektilinde' cam yiizeyinin kaplanmastn ,dnleyecek
.anuj oU."t tuput,tabilen bir paslanmaz gelik perde (shutter) takrlmalrdrr'
i.i"."rf
n) ig koruma: En az I takrm odacrklann igini kaplamalara kar|r koruyacak paslanmaz gelik
ceket saglanmahdlr.
r) Portlar:
i. Basrng gdstergeleri
ii. Vakum krrma vanasl
iii. lsrtrcr ve srcakhk konttolciisii
iv. Altta$ tutucu
v. Sagtlrma magnelronlan veya diEer gerekli parqalann 9ah$masl iQin vazge9ilmez
portlar da sistemle beraber verilmelidir.
Odacrk Duvarlannnt lsrtmasl:
i. Ulasrlacal en dii$iik srcakl|k 85 'C olmahdtr'
Isttrctlar: Odacrlrn dt;anslna seramik klzll-dtesi tsltlcrlat monte edilmil olmahdrr'
iii. Srcaklk Kontrolii ve Giistergesi: Bilgisayar PID kontrollii ve 3 basamaklr
j)
ii
gostergeye sahip olmahdlr.
^ 3- Pomprlrms
(Vrkum) istasyoru
3.I-Turbo Molekilcr Pompa (TMP):
a)
b)
c)
d)
En dtiStik pompalama hrzr: 1000 1/s (N2 iQin)
CF portunda paslanmaz qelik malzeme kullantlmaltdtr
Kontrol: Sistem tamamen bilgisayar kontrollu olmahdlr'
Sogutma Tipi: Su sogutma olmahdr'
3.2-Mekanik PomPa:
a)
b)
Tipir Yalsrz tip Scrollolmaldtr'
En dti$ik pompalama hrzr l5 m3/h olmalrdrrq
c) Kontrol: Sistem tamamen bilgisayar kontrollii olmahdrr'
d) Sogutma Tipi: Hava soButma olmaldrr'
e) Pompalanan 02 gazrnt seyreltmek igin N2 gazl kullanllmahdf
3.}. By-Prss Pomprlamrsr:
vermelidir Vakum klrma ve kaba vakuma
Qok klsa stire iqinde pompalama illemine
alma iglemi srrasrnda TMP vakum altrnda kalabilmelidir'
3.+ Vakum Seviyesinin ve grz akr$rttrn iilCiilmesi:
a) Odac* baslnclnl' olgiim arahF l0-r - l0-r0 Torr
soEuk katot tipi basrnq
-olan vakum dlQumleri igin en
taba
gdstergesinden en az birisi dlgmelidir' Aynca ana odacrk'
L ti.k"t olQiim arahgr I atm - l0r Torr arasrnda olan Pirani gdstetgesine sahip
b)c)
olmaltdrr'Benzeriba5kabirPiranigdstergesiise,mekanik(scro|l)pompa|amabastnctnt
dlQmek igin pompalama hattlnda kullanrlmahdr'
dlgiim arallgt l0-4 - lGl Torr olan
Saqtrrma i5lemi srlasrnda mutlak baslncr iilgmek iqin
(kapasitans) kullamlmalldrr'
en az bir adet Mutlak Baslnq ciitstergesi
(MFC) ile
ise' afagrda teknik ozeiiikleii verilen Ktitle Akrq Kontrolciileri
Gaz aktQlarr
itlaiilmeli v€ kontrol edilmelidir
$t
'-r >
MFC #I
SaQlrrma Gaz r Argon iQin
Arahk: 2-100 sccm olmahdlr.
caz hattr Unions: Swagelok (S.S.)
Ol'uma: Sistem bilgisayan ekramndan olmalldlr.
Kapatma vanasr: l/4" Swagelok, sinyal geri beslemeli e-pneumatic
aklivasyon olmahdrr.
B. MFC #2
SaQtrrma Gazl Azot igin
Aralk: I -50 sccm olmalrdtr.
Gaz hattr Unions: Swagelok (S.S.)
Okuma: Sisrem bilgisayarr ekranrndan olmahdrr.
c.
Kapatma vanasr: l/4" Swagelolq sinyal
akivasyon olmaldrr.
MFC #2
geri beslemeli
e-pneumatic
i.Sagtrrma Gazr Oksijen igin
ii.Aralk: l-10
sccm olmalorr.
iii.Gaz hattr Unions: Swagelok (S.S )
3.5.
iv.Okuma: Sistem bilgisayafl ekraflndan olmaldrr
v.Kapatma vanasr: l/4" Swagelok, sinyal geri beslemeli e-pneumatic aktivasyon
olmahdrr
Srctrrmr Odacrgrnrn Basrltc kontrolii vc yNlrttm Vrnasl
ISlem basrncr, elekronik otarak kontrol edilen bir vana tarafrndan dtizenlenmelidir
Basrng bilgisi, Mutlak BasrnQ Gostergesi (Kapasitans) tarafindan saglanmahdrr. Aynl
van4 TMP' yi ana odacrktan izole edebilmelidir
Altte$ Tutucu ve Krpatrct:
a) Alttal Tutucu, Qapr en az 3 " olan tek parga veya daha kUQLik boptlardaki (6r. I cmx I cm)
gok saydaki alttallan tutabilmelidir Tutucu 2 mm,ye kadar kahnlklardaki alttallan
tutabilmelidir Alna! tutucusu 3-30 rpm hrzrnda bilgisayar kontrollu olarak
dtinebilmelidir
b) AlttaS Perdesi, magnetronlafln h€deflenen kaplama hrzrna erigmesine kadar kapalr
kalacak Fkilde tasarlanmaldtr. Altta$ tutucu ile kaynak arasrnda, kaynaEa yakln
olmalldrr. Tamamen bilgisayar kontrollii olarak servo motor ile konrrol edilebilmeli ve
2 s' den daha klsa siirede agrk konumdan kapal konuma ya da tam tersi konuma
eelmelidir.
5-
SaCtrrma Magn€tronu Kaynaklan
a) SaCtrrma Magnetronlan, hedefin degi$irilmesi strasrnda
sdkrilmesine gerek brrakmayacak $ekilde tasarlanmaltdlr.
magnelron kafastntn
,l
,r'r.#'
.41/- ;,:-
b)
^
Srctrrma Mrgnctronu (CF Flangc, UHV uyumlu)
i. Hedefboyutu 2" qaprnd4 l/8'' kahnhlrnda olmahdr
ii. Magnetron mrknat$lan: NdFeB (en az bir tanesi, l0-3 torr Ar basrncr altlnda
dernir gibi manyetik malzemelerin sagtrnlabilmesiigin uygun olmalrdrr.
iii. Sogutma ve GtiQ kapasitesi: Su so$utmal, en fazla 7Wcm2 olmahdrr.
iv. GUC Tipi: DC ve RF
v. Basrng Arallr (Ar gaa igin): 0.3 - 20 Pa (2xl03 ron - l.5xl0-r ton)
vi. Baca(Chimney): Her bir el odakh magnetron igin baca mevcut olmahdrr.
vii. Ayarlama: Magnetronlann ayarlanmasr ylkarr do$u ve eg odakh olma|rdrr.
viii Magnetron Haraket Kabiliyeti: Yukan dolrq a$aF dolru, ve ekseni etrafinda
rotasyonel haraket kabiliyetine sahip olmaldrr.
c) Magnetron Perd€leri
i Perdeler altta; tutucusu ile kaynak arasrnda, kaynaga yakrn olmalldlr.
ii Servo molor ile aktivasyonlan saglanmalldrr.
iii. Tam aQrk durumdan tam kapah duruma, tam kapal durumdan tam agrk duruma
ulasma suresi 2s' den daha az olmahdrr. Sistem tamamen bilgisayar kontrollii
olmaldrr.
d) RF Giic KrynaEl
i. En az 300W gucunde, 13.56 MHz frekansrnda" 30 kHz darbeliolmaldrr
ii. On panel ve sistem bilgisayanndan kontrolti saElanmahdrr.
iii. 6n panel ve sistem bilgisayarrndan okuma yaptlabilmelidir.
e) Rtr Empedrns Ellemc Kutosu
i. RF Empedans E$leme Kutusu bir adet magnetron tarafinda bir adet de alttai
tutucusu taiafinda konumlanma|drr. RF gue kaynagl kontrol tinitesi ve sistem
bilgisayarr ile kontrol edilebilmelidir.
ii. En az 300 W guce sahip olmaldrr.
f) DC Giig Kaynair
i En az 500 W gticunde olmaldrr.
ii. On panel ve sistem bilgisayan ile konrrol edilebilmeli ve gerekli okumalar
yaprlabilmelidir.
g) DC Derbeleme Unilesi
i. Darbe ftekansr 2 kHz ve 20 kHz olmahdrr.
ii Qahlma voltajr 150-1000\'DC araftlrnda olmalrdtr.
iii. Qah$ma akrmr 25 Amp olmahdrr.
h) Qurrtz Kristal Kalnhk Monitiirii (KrplrmN odicrBr)l
i. Sensor standardr: 6MfL kristal olmalldrr.
ii. Frekans 4-10 MHz arallglnda olmalldlr.
iii. Frekans C.dziiniirliigu ve stabilitesi 0.035H2 @ l0 6l9uds @ 6MHz olmahdtr.
iv. Frekans + 2PPM hassasiyetinde olmalldrr.
v. Kaplama hrzr 0.18 fus edztiniirltiBunde (onalama olmadan, Al)olmaldr.
vi. Kaplama hrzr 0.03 A,/s Qdztiniirlugunde (50 veri orlalamasr, Al) olmahdrr.
vii. Kalnlrk I A Qitztiniirliilnnde yaprlabilmelidir.
viii. USB izolasyon voltaj ve kapasitansr | 000 V, 300 pF olmahdrr.
-
"n
AF-
&
a)
b)
c)
lrck (LL)
Odrc|gr vc Trensfcr Mck$izmrsl
Load lock (LL) odacrgr ve fa,|sfer mekanizmasr, alna$l s.rqtrrma odaoFna yetle$irmek
ve odactktan Qrkarma.k igin, saEtrma odacrglndaki vakumu klrmadan transfer etmeye
izin vermelidir.
LL Odacrgrnda nihai basing 5xl0-6 torr'dan daha du$ik olmahdtr' Bu seviyedeki
basrnca" ala odacrk ile atasrndaki vana kapahyken ve am pompa lslasyonunu
kullanmadan eriSilebilmelidir.
LL odacr$r, daha sonra ihtiyaq duyrlabilecek lyon demeti ve Plazma temizleme
kaynaklannl monte etmeye uygun olarak tasadanmalldlr'
Lord
d) PompAhmr
isatlyotru,
260lls rurbo molehiler pompa ve l5 m3/h sctoll pompaya sahip olmahdrr'
e) B$rnc okumr:
I Piraniand I Soguk katotta[ olulmaltdrr' I
sahip olmahdr.
0
arm
-t0-3 Torr/ l0-] - lGloTorrokuma arahgrna
Pcnccrc:
LL odacr6rnrn icini goiebilmek iqin ISO 63-flange boyutunda pencere taklacakrr
g) Krpr Vrn.sr:
3" Qaprndaki alrtallann transferine izin verecek Fkilde 6laiilenditil€cektir'
h) Tnnlfcr kolu:
Electro-pneumatik olarak Cah$nlan transfet kolu olmaltdtr
?- Kulhnrm ve Kontrol
a) Sistemin kontrclti
b)
tamamen bilgisayar kontrollii, t-abview tabanh ve grafik kullanrcr
gerQek zatnanll
araytlzune sahip olmahdlr' Araviiz. kullanrcrnrn sistem durumutu
gristerebilmelidir.
Kontrol Progrrmr (Olomrsyoo ve Kontrol)
parqalatrnr kontrol_ ermeye degil'
sistemle birlikte teslim edilecek yazrhm, sadece sistemin
arayiizii de
kullanrcrnrn kerdi illem (proses) re{eleleriti programlayrp uygulayabilecepi -bir
ataslnda bilahare artlsmaya
sallamahdrr. Yazrllmln ayrlnttlarL kullanrcr ve kazarun iiretici
talep edilecek
Teslimat sonrasrnda da en a2 2 ytl siire ile kullanrcr tarafindan
gelmeli'
a''rrca
Yazrhm' sisrem bilgisayarrnda kurulu
v"p,fmasr saglanmahdrr'
ianci bir veri depoiama onamrnda kurulum dosyalan da tedim edilmelidir'
f*li.ita,t
gi"*lf"."i*it
c)
Sistcmde
kulhn rclk bilgisryr"
yazrhml Eall$rrmada kullantlmaya uygun
Sistemde kullanrlscak bilgisayar, lukanda agrklanan
dnnyaca kabul gtirmd$ bilgisay€r firmalar tarafindan
"ii istasyonu" ilarak srntflandrrrlan kategoriden olmahdrr' Bilgisayar' en az 4
uretif".
""
gift monit6r qrkrltna izin vermelidir' sistemde
c"ilrJ.tfi rE"l"iv","; GB bellege sahip olmah' olmahdrr. Bu monit6.lerden birisiode' sistemln
i ada en az l T. bolut'oda LcD monitor kurulu
iirnul,a,, xottu-lu"at uitgisayar,
-
.t/fr
nl
| ,.
NT'
\lv
v
=
durumu gerq-ek zamanh olatak galsterilmeli, diperinde ise kullamcrnm sistemi kullanrnasr igin
gerekli aray0z gahlmahdrr.
d)
Otomesyon yezrhmt:
Otomalik ve nunuel modda kullamcr ve sistem par9alaflnln guvenligi aqslndan, lrrrllamctntn
yapmlrsrnln sakrncalt oldugu hareketlere (vanalatm aQrlmasl pompalann durdurulmasL guq
kaynaklaflnrn agrLp kapanmast vb. operasyonlar) izin vermemelidir' Aynca' yazrllmda a$aBjda
belirtilen parqalar olmaldrr.
e) B.'lrtm.:
i.
ii.
vakum odacrlr atmosfer ortamrndan yil&sek vakum seviyelerine
getirilebilmeli ve sistem kaplama iglemleri igin hazrr hale gairilebilmelidir'
Sistem apgrdaki basamaklafl tam olomatik ve yao otomatik olarak
Ba$langrG'ra
QaL$rabilmelidir:
aqtk olmah.
' LL- Ana odaqk arasl vana gerektiginde
ve
ana
odactk vakumlanabilmeli ve
ile
LL
' C'erektiginde LL TMP' si
lxl0i torr' a kadar inebilmelidir'
f)
Krpenma
altrnda brrakma veya
Sistemi guvenli bir qekilde kapaulabilmeli ve ope'atore sistemi vakum
vakumu krrma seQeneklerini $nmalldlr
g)
-' Krphmr
i.
ii.
(Rc{ctcli)r
Kullantcrnrn tek veya qok karl kaplamalar yapmasrna izin vermelidir' Reqeteler
altinda
diizenlenebilir formatta olrnall, degi$irilen teqeteler farkh isimler
re{ete
fazla
birden
kaydetmeye uygun olmalldrt Kaplama i$lemi (prosediiLrii)'
daha
igermeye izin vermelidir' Kaplama iglemleri (prosedntleri) ve re9eteler
sonra kullanmaya izin verecek qekilde kayrt edilebilmelidir'
reeele ve
Sistem ydneticisi harici.deki kullanrcrlann, sadece yetkilendirildikleri
ve/veya
kaplama iglemlerioe (prosedtirlerine) erigim ilnleri sistem yazrhmt
isletim sistemi tarafindan kontrol edilebilir olmahdtr'
h) Yrrr otomrtik Kullrnrml
vb-) yan otomatik olarak
Sistemin Qesitli patgalannr (vanalar, guQ kaynaklarr' kapaklar
bilgisayar yardmr ile kontrol elmeye iTin vermelidir-
i)
B.kLmc Durumu:
gdstergesi ve kontrol iiniteleri haricindeki
Sister4 TMP' yi yava5laima durumuna alarak bastnq
di6er biitnn elektronik parqalarr kapatmaya izin vermelidir'
j)
(l'otd
Plazna ve iyon Demeti ile A$rndrrmr (Ion B'rm Etch)
Lck (XtcrErndr):
parQalatr
pl^zmave iyon demeti ile agrndrrma sistemi, daha sonra kurulacak oh,p' sistemin diger
ve yazrllm buna uygun olarak tasailanmaltdlt
k)
Otomatik Korumr
dzelligine sahip- olmalldr' Sistem
Sisem yazrhmr, sistemi kullanrq hatalarloa ka4r koruma
itlem sonuor si$emde onaya glkabilec€k arrzalar kullamcl
t-it.r^. .""tf"J,gl hethangi bir
hatasr olarak delerlendiril memel idir
l)
K4y
:
Sisem bilgisaya', sensitr degetletini (baslng, srcakltk, gaz ah , kahnl*, kaplarna oranl vb )
d.ha sonra erisilebilecek sekilde kaytt etmelidir- Aynca, yazlllm kullanllan kapama rocetelerini
de kaytt etmelidir.
8- Krpah dcvic sr soEutma sfutedi:
a) Yukanda bahsi geqen btiltin
D)
d)
f)
s)
n.)
9- Alttrs
sistem parqalannrn soFJtma eryu ihtiyacrnl
kargrlayabilmelidir.
Su sogutma sistemi 2,500 Kcal/br (2,900 Waft) gtictinde olmahdrr'
Buhatlatma Stcaklr$ | 7,5oC olrnalrdlr
Yogunla$ma Srcakhg,: +45"C olmahdrr'
Su basrncl; 4 bar olmaltdlr.
Pompa giicilr I hP olmahdtrTank hacmi: 50 lit e olmaltdrr.
Termomette ve termosfat iCermelidir'
Su da6rnmr dahili olmaldrr.
lsrtma Secenegi:
altta$ scakltklanna
Kurulacak sisterq daha sonra ihtiyat duyulmasr halinde, 500 c ve 8oo C
Bununla ilgili goznm
sadece altta$ tutuculu defiStirerek ulapbilecek *kilde tasarlanmahdrr'
onerileri de teklifle birlikte sunulmaltdtr.
10-
D6kiidrnl.Nr ve DiEer PrrCdar:
a. ince film sistemi ile verilecek sistem
masasr Anodize
oksitli Al Profilden imal
edilmis olmahdrr
b. GuQ da$trmr (power delivery) 3-fazh (400 VAC' 50 Hz) olmahdtr'
Deney di?enegi raflan dahili olmahdrr
d. Sistenrle birlikte kullantna klaruzu verilmelidir'
Bakrm klaluzr (dewe gemalan ve gizimler ile birlikte) verilmelidir'
p-ivoait bakrm ydnergeleri ve aqklamalar (periyodik bakrmlarda d€ismesi
gerekli parqa listesi ile) verilmelidir'
g. lirte.in promatik parQalannrn gahgabilmesi igin uygun bir kompresor
c
e
i
verilmelidir.
ve sart
h. En gatanti kaPsamr siiresince d€ilmesi gerekfiek yedek -parqa
^z
bahse konu sarf
maltem-eleri de sistemle birlikte teslim edilmelidir' Eler
edilecegide dair taahhnt
malzemesinin raf dmrtl vatsa' gerektiEi zaman teslim
verilmelidir.
hedef(Or:
Sp""if*""yont-,, sistem oretimi slrastnda kesinlegme iizrre' 3 adet
I adet Nb, I ad€t NbN, I adet MgO) saglanmahdrr'
A"tu9-atttt-"sr atlanmri olsa bile' sistem . CESUR
). Vut
"tl"'
sadece fige takrlarak qaftSmaya hazr olarak ,teslim
f"u."rrt"tf-ta"
2 hafta
alif."fiait. ihaleyi kazanan firma' kurulumu yapllacak labora[varl
NNI-.,,,$l
)
"
/v--.-v
z.r7f /
t
,i'
iginde yerinde eriid ed6dq kurulum snasrn& ittiyaq duyulacak alq'aptyt
CESUR vorEtimir. vazrh olank bildimekle wkiin udiit.
:J ..:
fL1'^'!
Dr. S€rap Safi-an